Только зарегистрированные пользователи могут оставлять отзывы. Вход / Регистрация
Описание документа
Разработка методов микро- и нанолитографии по оксидным пленкам переходных металлов / А. А. Величко [и др.] // Учен. зап. Петрозавод. гос. ун-та. Сер.: Общественные и гуманитарные науки. - 2009. - № 11 (105). - С. 82-94.
Издатель: Издательство ПетрГУ
Copyright: Петрозаводский государственный университет
Продолжая использовать данный сайт, Вы даете согласие на обработку файлов
Cookies и других пользовательских данных, в соответствии с Политикой конфиденциальности