|
| Гуртов Валерий Алексеевич, Беляев Максим Александрович, Бакшеева Анна Германовна |
| Микроэлектромеханические системы | | : учебное пособие для студентов физико-технических специальностей университетов |  | В учебном пособии представлены материалы и базовые технологии, используемые в разработке и производстве микроэлектромеханических систем (МЭМС), оптических МЭМС, биомедицинских МЭМС. Рассматриваются физические основы работы датчиков и исполнительных механизмов в МЭМС-устройствах, методы аналогий для анализа МЭМС и пакеты для компьютерного моделирования. Описаны стандарты, используемые в производстве МЭМС, а также особенности корпусирования и герметизации, связанные с трёхмерностью МЭМС. Рассмотрены особенности и подходы при разработке наноэлектромеханических систем (НЭМС).
Предназначено для студентов и аспирантов вузов, специализирующихся в области микроэлектроники, научных сотрудников и разработчиков элементной базы. |
|  Просмотреть полный текст документа | |
Отзывы читателей (0)
| |
Только зарегистрированные пользователи могут оставлять отзывы. Вход / Регистрация |
|
|
|
|
