|
| Гуртов Валерий Алексеевич, Логинов Дмитрий Владимирович |
| Микросистемы | | : учебное пособие для студентов физико-технических специальностей университетов |  | В учебном пособии представлены основные структурные элементы и принципы построения микросистем, использующие различные физические явления для регистрации входного сигнала и формирования выходного сигнала. Микросистемы подразделяются в соответсвии с этим на микроэлектромеханические системы (МЭМС), оптические МЭМС, микрофлюидные (биомедицинские) МЭМС. Рассматриваются физические основы работы датчиков и исполнительных механизмов в микросистемах, пакеты прикладных программ для компьютерного моделирования элементов микросистем. Описаны технологии, используемые в производстве МЭМС, а также особенности корпусирования и герметизации, связанные с трехмерностью микросистем. Рассмотрены особенности и подходы при разработке наноэлектромеханических систем (НЭМС). Предназначено для студентов и аспирантов вузов, специализирующихся в области микроэлектроники, научных сотрудников и разработчиков элементной базы. |
|  Просмотреть полный текст документа | |
Отзывы читателей (0)
| |
Только зарегистрированные пользователи могут оставлять отзывы. Вход / Регистрация |
|
|
|
|
