eLibrary.karelia.ru
[ Каталог -> Техника-> Радиоэлектроника]
Добавить в коллекцию
Гуртов Валерий Алексеевич, Логинов Дмитрий Владимирович 
Микросистемы
: учебное пособие для студентов физико-технических специальностей университетов
В учебном пособии представлены основные структурные элементы и принципы построения микросистем, использующие различные физические явления для регистрации входного сигнала и формирования выходного сигнала. Микросистемы подразделяются в соответсвии с этим на микроэлектромеханические системы (МЭМС), оптические МЭМС, микрофлюидные (биомедицинские) МЭМС. Рассматриваются физические основы работы датчиков и исполнительных механизмов в микросистемах, пакеты прикладных программ для компьютерного моделирования элементов микросистем. Описаны технологии, используемые в производстве МЭМС, а также особенности корпусирования и герметизации, связанные с трехмерностью микросистем. Рассмотрены особенности и подходы при разработке наноэлектромеханических систем (НЭМС). Предназначено для студентов и аспирантов вузов, специализирующихся в области микроэлектроники, научных сотрудников и разработчиков элементной базы.
Просмотреть полный текст документа


Отзывы читателей (0)

Только зарегистрированные пользователи могут оставлять отзывы. Вход / Регистрация
Описание документа
Гуртов В. А. Микросистемы : учебное пособие для студентов физико-технических специальностей университетов / В. А. Гуртов, Д. В. Логинов ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Федер. гос. бюджет. образоват. учреждение высш. образования Петрозав. гос. ун-т. — Петрозаводск : Изд-во ПетрГУ, 2021. — 188, [1] с. — Систем. требования: Adobe Reader. — ISBN 978-5-8021-3761-1. — Текст : электронный.
Издатель: Издательство ПетрГУ

Copyright: Петрозаводский государственный университет

Место издания: Петрозаводск

Год издания:2021

Описание Dublin Core

Вместе с этой книгой читают:

  • Список населенных мест Олонецкой губернии по сведениям за 1905 год
  • Очерки по истории архивного дела в СССР
  • О пятинах и погостах Новгородских в XVI веке, с приложением карты
  • Олонецкий сборник. Выпуск 3.
  • Олонецкая губерния: Список населенных мест
  •