Данные Dubline Core
DC.Title:
Формирование пленок в разряде в скрещенных полях
DC.Title.Alternative
DC.Creator
Сасин Антон Владимирович
DC.Subject
22.37
DC.Subject.keyword
тонкие пленки, Плазма, скрещенные поля
DC.Description.abstract
Исследован процесс образования углеродных пленок в разряде в скрещенных полях в неоне и аргоне с цилиндрической геометрией электродов. Интерферометрическим способом измерено радиальное распределение толщины пленки на торцевой подложке. Предложена диффузионная модель образования пленок.
DC.Description.tableOfContents
DC.Publisher.CorporateName
Издательство ПетрГУ
DC.Publisher.CorporateName.Address
DC.Contributor
DC.Type
Text.Article
DC.Format
PDF
DC.Identifier
http://elibrary.petrsu.ru/books/23134
DC.Source
http://elibrary.petrsu.ru/books/23134
DC.Language
Русский
DC.Coverage
DC.Rights
Петрозаводский государственный университет