Данные Dubline Core
DC.Title:
Разработка методов микро- и нанолитографии по оксидным пленкам переходных металлов
DC.Title.Alternative
DC.Creator
Величко Андрей Александрович, Черемисин Александр Борисович, Стефанович Генрих Болеславович, Пергамент Александр Лионович, Путролайнен Вадим Вячеславович, Дутиков Дмитрий Андреевич, Кулдин Николай Александрович, Кундозерова Татьяна Валерьевна, Параничев Даниил Константинович
DC.Subject
22.37
DC.Subject.keyword
оксиды переходных металлов, нанолитография, резист, модификации пленок оксидов
DC.Description.abstract
В статье приведен обзор неорганических резистов, применяющихся для микро- и нанолитографии.
DC.Description.tableOfContents
DC.Publisher.CorporateName
Издательство ПетрГУ
DC.Publisher.CorporateName.Address
DC.Contributor
DC.Type
Text.Article
DC.Format
PDF
DC.Identifier
http://elibrary.petrsu.ru/books/25621
DC.Source
http://elibrary.petrsu.ru/books/25621
DC.Language
Русский
DC.Coverage
DC.Rights
Петрозаводский государственный университет