Гуртов Валерий Алексеевич, Логинов Дмитрий Владимирович

Микросистемы

учебное пособие

В учебном пособии представлены основные структурные элементы и принципы построения микросистем, использующие различные физические явления для регистрации входного сигнала и формирования выходного сигнала. Микросистемы подразделяются в соответсвии с этим на микроэлектромеханические системы (МЭМС), оптические МЭМС, микрофлюидные (биомедицинские) МЭМС. Рассматриваются физические основы работы датчиков и исполнительных механизмов в микросистемах, пакеты прикладных программ для компьютерного моделирования элементов микросистем. Описаны технологии, используемые в производстве МЭМС, а также особенности корпусирования и герметизации, связанные с трехмерностью микросистем. Рассмотрены особенности и подходы при разработке наноэлектромеханических систем (НЭМС). Предназначено для студентов и аспирантов вузов, специализирующихся в области микроэлектроники, научных сотрудников и разработчиков элементной базы.


Только зарегистрированные пользователи могут оставлять комментарии. Пожалуйста, зарегистрируйтесь.

Описание документа
Гуртов В. А. Микросистемы : учебное пособие для студентов физико-технических специальностей университетов / В. А. Гуртов, Д. В. Логинов ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Федер. гос. бюджет. образоват. учреждение высш. образования Петрозав. гос. ун-т. — Петрозаводск : Изд-во ПетрГУ, 2021. — 188, [1] с. — ISBN 978-5-8021-3761-1. — URL: http://elibrary.petrsu.ru/books/52326 (дата обращения: 01.03.2024)

Издатель: Издательство ПетрГУ

Copyright: Петрозаводский государственный университет

Место издания: Петрозаводск

Год издания: 2021