Данные Dubline Core

DC.Title: Осаждение тонких металлических пленок на поверхность микрочастиц в плазме магнетронного ВЧ-разряда  
DC.Title.Alternative  
DC.CreatorПаль Александр Фридрихович
Рудавец Александр Григорьевич
Рябинкин Алексей Николаевич
Серов Александр Олегович
 
DC.Subject.keywordПылевая плазма, магнетронное распыление, покрытие, порошок, термализация атомов, ван-дер-ваальсовское взаимодействие,  
DC.Subject22.3
7
 
DC.Description.abstractПредставлен экспериментальный метод нанесения пленок распыленными атомами на поверхности сферических микрочастиц, захваченных в плазменной ловушке, с использованием единственного ВЧ-разряда.  
DC.Description.tableOfContents  
DC.Publisher.CorporateNameИздательство ПетрГУ  
DC.Publisher.CorporateName.Address  
DC.Contributor  
DC.TypeData
 
DC.FormatPDF
 
DC.Identifierhttp://elibrary.karelia.ru/book.shtml?id=23133
DC.Sourcehttp://elibrary.karelia.ru/book.shtml?id=23133
DC.LanguageРусский
 
DC.Coverage  
DC.RightsПетрозаводский государственный университет