Данные Dubline Core

DC.Title: Формирование пленок в разряде в скрещенных полях  
DC.Title.Alternative  
DC.CreatorСасин Антон Владимирович
 
DC.Subject.keywordтонкие пленки, Плазма, скрещенные поля,  
DC.Subject22.3
7
 
DC.Description.abstractИсследован процесс образования углеродных пленок в разряде в скрещенных полях в неоне и аргоне с цилиндрической геометрией электродов. Интерферометрическим способом измерено радиальное распределение толщины пленки на торцевой подложке. Предложена диффузионная модель образования пленок.  
DC.Description.tableOfContents  
DC.Publisher.CorporateNameИздательство ПетрГУ  
DC.Publisher.CorporateName.Address  
DC.Contributor  
DC.TypeData
 
DC.FormatPDF
 
DC.Identifierhttp://elibrary.karelia.ru/book.shtml?id=23134
DC.Sourcehttp://elibrary.karelia.ru/book.shtml?id=23134
DC.LanguageРусский
 
DC.Coverage  
DC.RightsПетрозаводский государственный университет