Данные Dubline Core
Григорьев Сергей Владимирович, Девятков Владимир Николаевич, Денисов Владимир Викторович, Коваль Николай Николааевич, Лопатин Илья Викторович, Шугуров Владимир Викторович, Яковлев Владислав Викторович
Плазма, электроразрядное оборудование, ионно-плазменные технологии, азотирование, осаждение покрытий, электронный пучок, модификация поверхности
В статье представлены вакуумные ионно-плазменные и электронно-лучевые установки для модификации поверхности материалов и изделий, разработанные в Институте сильноточной электроники Сибирского отделения РАН. Они позволяют проводить ионно-плазменную очистку и активацию поверхности изделий и ее азотирование с последующим нанесением сверхпрочных наноструктурных покрытий либо электронно-лучевую обработку поверхности с ее оплавлением, изменяющую ее фазовый состав (вплоть до наноструктурирования), шероховатости и твердости.