Данные Dubline Core
DC.Title:
Нанометрология
DC.Title.Alternative
DC.Creator
Белашев Борис Залманович
DC.Subject
30.10
DC.Subject.keyword
Нанометрология, измерители наноперемещений, меры длины, аксикон, мезооптические микроскопы, терагерцовая спектроскопия
DC.Description.abstract
В статье по литературным источникам и материалам Интернета описаны современные подходы к нанометрологии. Рассмотрены эталонная система на базе атомно-силового микроскопа и лазерных интерферометрических измерителей наноперемещений, метод терагерцовой спектроскопии диагностики нанообъектов, новые оптические микроскопы, регистрирующие интегральный отклик объекта.
DC.Description.tableOfContents
DC.Publisher.CorporateName
Издательство ПетрГУ
DC.Publisher.CorporateName.Address
DC.Contributor
DC.Type
Text.Article
DC.Format
PDF
DC.Identifier
http://elibrary.petrsu.ru/books/21409
DC.Source
http://elibrary.petrsu.ru/books/21409
DC.Language
Русский
DC.Coverage
DC.Rights
Петрозаводский государственный университет