Данные Dubline Core
DC.Title:
Осаждение тонких металлических пленок на поверхность микрочастиц в плазме магнетронного ВЧ-разряда
DC.Title.Alternative
DC.Creator
Паль Александр Фридрихович, Рудавец Александр Григорьевич, Рябинкин Алексей Николаевич, Серов Александр Олегович
DC.Subject
22.37
DC.Subject.keyword
Пылевая плазма, магнетронное распыление, покрытие, порошок, термализация атомов, ван-дер-ваальсовское взаимодействие
DC.Description.abstract
Представлен экспериментальный метод нанесения пленок распыленными атомами на поверхности сферических микрочастиц, захваченных в плазменной ловушке, с использованием единственного ВЧ-разряда.
DC.Description.tableOfContents
DC.Publisher.CorporateName
Издательство ПетрГУ
DC.Publisher.CorporateName.Address
DC.Contributor
DC.Type
Text.Article
DC.Format
PDF
DC.Identifier
http://elibrary.petrsu.ru/books/23133
DC.Source
http://elibrary.petrsu.ru/books/23133
DC.Language
Русский
DC.Coverage
DC.Rights
Петрозаводский государственный университет