Данные Dubline Core

DC.Title:
Разработка методов микро- и нанолитографии по оксидным пленкам переходных металлов
DC.Title.Alternative
DC.Creator

Величко Андрей Александрович, Черемисин Александр Борисович, Стефанович Генрих Болеславович, Пергамент Александр Лионович, Путролайнен Вадим Вячеславович, Дутиков Дмитрий Андреевич, Кулдин Николай Александрович, Кундозерова Татьяна Валерьевна, Параничев Даниил Константинович

DC.Subject
22.37
DC.Subject.keyword

оксиды переходных металлов, нанолитография, резист, модификации пленок оксидов

DC.Description.abstract

В статье приведен обзор неорганических резистов, применяющихся для микро- и нанолитографии. Обсуждаются результаты исследований модификации пленок оксидов переходных металлов под действием электронного, фотонного и ионного излучений. Показано, что оксиды ванадия могут являться перспективным материалом для микро- и нанолитографии, а также использоваться для изготовления электронных компонентов микро- и наномасштаба.

DC.Description.tableOfContents
DC.Publisher.CorporateName
Издательство ПетрГУ
DC.Publisher.CorporateName.Address
DC.Contributor
DC.Type
Text.Article
DC.Format
PDF
DC.Identifier
http://elibrary.petrsu.ru/books/25621
DC.Source
http://elibrary.petrsu.ru/books/25621
DC.Language
Русский
DC.Coverage

DC.Rights
Петрозаводский государственный университет