Данные Dubline Core
DC.Title:
Микроэлектромеханические системы
DC.Title.Alternative
DC.Creator
Гуртов Валерий Алексеевич, Беляев Максим Александрович, Бакшеева Анна Германовна
DC.Subject
3
2
DC.Subject.keyword
Радиоэлектроника, Техника, Технические науки, Микроэлектроника, Радиоэлектронная аппаратура, Радиотехника, Микроэлектромеханические системы
DC.Description.abstract
В учебном пособии представлены материалы и базовые технологии, используемые в разработке и производстве микроэлектромеханических систем (МЭМС), оптических МЭМС, биомедицинских МЭМС. Рассматриваются физические основы работы датчиков и исполнительных механизмов в МЭМС-устройствах, методы аналогий для анализа МЭМС и пакеты для компьютерного моделирования. Описаны стандарты, используемые в производстве МЭМС, а также особенности корпусирования и герметизации, связанные с трёхмерностью МЭМС. Рассмотрены особенности и подходы при разработке наноэлектромеханических систем (НЭМС).
Предназначено для студентов и аспирантов вузов, специализирующихся в области микроэлектроники, научных сотрудников и разработчиков элементной базы.
DC.Description.tableOfContents
DC.Publisher.CorporateName
Издательство ПетрГУ
DC.Publisher.CorporateName.Address
DC.Contributor
DC.Type
Data
DC.Format
PDF
DC.Identifier
http://elibrary.petrsu.ru/books/27805
DC.Source
http://elibrary.petrsu.ru/books/27805
DC.Language
Русский
DC.Coverage
DC.Rights
Петрозаводский государственный университет