Данные Dubline Core

DC.Title:
ANSYS. Моделирование МЭМС. Наложение сетки, граничные условия (на примере емкостного акселерометра)
DC.Title.Alternative
DC.Creator

Логинов Дмитрий Владимирович

DC.Subject
31.2
DC.Subject.keyword

Радиоэлектроника, Техника, Технические науки, Электроника, Микроэлектромеханические системы, Полупроводниковые приборы, ANSYS, Емкостной акселерометр, Наноэлектроника

DC.Description.abstract

Пособие предназначено для студентов старших курсов направления «Электроника и наноэлектроника», занимающихся моделированием МЭМС в ходе изучения дисциплины «Новые типы полупроводниковых приборов». В пособии рассмотрены структура емкостного акселеметра, методы наложения расчетной сетки, способы задания граничных условий.

DC.Description.tableOfContents
DC.Publisher.CorporateName
Издательство ПетрГУ
DC.Publisher.CorporateName.Address
DC.Contributor
DC.Type
Text.Education materials
DC.Format
PDF
DC.Identifier
http://elibrary.petrsu.ru/books/29481
DC.Source
http://elibrary.petrsu.ru/books/29481
DC.Language
Русский
DC.Coverage

DC.Rights
Петрозаводский государственный университет