Сасин Антон Владимирович

Формирование пленок в разряде в скрещенных полях

Исследован процесс образования углеродных пленок в разряде в скрещенных полях в неоне и аргоне с цилиндрической геометрией электродов. Интерферометрическим способом измерено радиальное распределение толщины пленки на торцевой подложке. Предложена диффузионная модель образования пленок.

Сборник

Все статьи сборника:


Только зарегистрированные пользователи могут оставлять комментарии. Пожалуйста, зарегистрируйтесь.

Описание документа
Сасин А. В. Формирование пленок в разряде в скрещенных полях / А. В. Сасин // Учен. зап. Петрозавод. гос. ун-та. Сер.: Естественные и технические науки. — 2010. — № 8 (113). — С. 110-113. — URL: http://elibrary.petrsu.ru/books/23134 (дата обращения: 03.03.2024)

Издатель: Издательство ПетрГУ

Copyright: Петрозаводский государственный университет

Место издания: Петрозаводск

Год издания: 2010