Гуртов Валерий Алексеевич, Беляев Максим Александрович, Бакшеева Анна Германовна

Микроэлектромеханические системы

учебное пособие

В учебном пособии представлены материалы и базовые технологии, используемые в разработке и производстве микроэлектромеханических систем (МЭМС), оптических МЭМС, биомедицинских МЭМС. Рассматриваются физические основы работы датчиков и исполнительных механизмов в МЭМС-устройствах, методы аналогий для анализа МЭМС и пакеты для компьютерного моделирования. Описаны стандарты, используемые в производстве МЭМС, а также особенности корпусирования и герметизации, связанные с трёхмерностью МЭМС. Рассмотрены особенности и подходы при разработке наноэлектромеханических систем (НЭМС). Предназначено для студентов и аспирантов вузов, специализирующихся в области микроэлектроники, научных сотрудников и разработчиков элементной базы.


Только зарегистрированные пользователи могут оставлять комментарии. Пожалуйста, зарегистрируйтесь.

Описание документа
Гуртов В. А. Микроэлектромеханические системы : учебное пособие для студентов фи-зико-технических специальностей университетов / В. А. Гуртов, М. А. Беляев, А. Г. Бакшеева ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. гос. бюджет. образоват. учреждение высш. образования Петрозав. гос. ун-т. — Петрозаводск : Изд-во ПетрГУ, 2016. — 142 с. — URL: http://elibrary.petrsu.ru/books/27805 (дата обращения: 14.11.2024)

Издатель: Издательство ПетрГУ

Copyright: Петрозаводский государственный университет

Место издания: Петрозаводск

Год издания: 2016