ANSYS. Моделирование МЭМС. Наложение сетки, граничные условия (на примере емкостного акселерометра)
электронное учебное пособие
Пособие предназначено для студентов старших курсов направления «Электроника и наноэлектроника», занимающихся моделированием МЭМС в ходе изучения дисциплины «Новые типы полупроводниковых приборов». В пособии рассмотрены структура емкостного акселеметра, методы наложения расчетной сетки, способы задания граничных условий.
Только зарегистрированные пользователи могут читать полные тексты и оставлять комментарии. Пожалуйста, зарегистрируйтесь.
Описание документа
Логинов Д. В. ANSYS. Моделирование МЭМС. Наложение сетки, граничные условия (на примере емкостного акселерометра) : учебное электронное пособие / Д. В. Логинов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. гос. бюджет. образоват. учреждение высш. образования Петрозав. гос. ун-т. — Петрозаводск : Изд-во ПетрГУ, 2017. — [25] с. — URL: http://elibrary.petrsu.ru/books/29481 (дата обращения: 05.12.2025)
Издатель: Издательство ПетрГУ
Copyright: Петрозаводский государственный университет
Место издания: Петрозаводск
Год издания: 2017