Паль Александр Фридрихович, Рудавец Александр Григорьевич, Рябинкин Алексей Николаевич, Серов Александр Олегович

Осаждение тонких металлических пленок на поверхность микрочастиц в плазме магнетронного ВЧ-разряда

Представлен экспериментальный метод нанесения пленок распыленными атомами на поверхности сферических микрочастиц, захваченных в плазменной ловушке, с использованием единственного ВЧ-разряда.

Сборник

Все статьи сборника:


Только зарегистрированные пользователи могут оставлять комментарии. Пожалуйста, зарегистрируйтесь.

Описание документа
Осаждение тонких металлических пленок на поверхность микрочастиц в плазме магнетронного ВЧ-разряда / А. Ф. Паль [и др.] // Учен. зап. Петрозавод. гос. ун-та. Сер.: Естественные и технические науки. — 2010. — № 8 (113). — С. 105-109. — URL: http://elibrary.petrsu.ru/books/23133 (дата обращения: 27.02.2024)

Издатель: Издательство ПетрГУ

Copyright: Петрозаводский государственный университет

Место издания: Петрозаводск

Год издания: 2010