Величко Андрей Александрович, Черемисин Александр Борисович, Стефанович Генрих Болеславович, Пергамент Александр Лионович, Путролайнен Вадим Вячеславович, Дутиков Дмитрий Андреевич, Кулдин Николай Александрович, Кундозерова Татьяна Валерьевна, Параничев Даниил Константинович
Разработка методов микро- и нанолитографии по оксидным пленкам переходных металлов
В статье приведен обзор неорганических резистов, применяющихся для микро- и нанолитографии. Обсуждаются результаты исследований модификации пленок оксидов переходных металлов под действием электронного, фотонного и ионного излучений. Показано, что оксиды ванадия могут являться перспективным материалом для микро- и нанолитографии, а также использоваться для изготовления электронных компонентов микро- и наномасштаба.
Сборник
Все статьи сборника:
-
Архитектура и строительство
Вахрамеева Татьяна Ивановна
Одигитриевская церковь в с. Кимжа. Исследования и реставрационные предложенияКарпенко Николай Иванович, Петров Алексей Николаевич, Воронин Захар Андреевич
Опыт конечно-элементной аппроксимации железобетонных балок-стенок с проемами
Биология
Ивантер Эрнест Викторович
Фаунистический анализ и зоогеографическое районирование территорий (на примере Карелии)Шкляревич Галина Андреевна
Сообщества мидий на литорали Кандалакшского залива Белого моряСергиенко Людмила Александровна
О морфологической изменчивости в роде бескильница семейства мятликовых (Puccinellia Parl. семейства Poaceae)
Лесное и сельское хозяйство
Гаврилов Виктор Николаевич
Зональные особенности растительных ресурсов осушенных болот Карелии при их искусственном облесенииЕвсеева Галина Владимировна, Яковлева Ксения Евгеньевна, Голубева Ольга Алексеевна
Формирование злаковых пастбищных агрофитоценозов в условиях Карелии
Медицинские науки
Мейгал Александр Юрьевич, Ворошилов Александр Сергеевич
Динамика нелинейных параметров электромиограммы ребенка в течение первых суток жизниБарышева Ольга Юрьевна, Хейфец Людмила Михайловна, Михеева Юлия Сергеевна, Румянев Александр Шаликович
Гипертрофия миокарда левого желудочка и хроническая болезнь почек
Технические науки
Гольдштейн Юрий Борисович
Полная потенциальная энергия конструкции с односторонними связями и ее использование при решении задачи устойчивостиМарков Борис Георгиевич, Марков Олег Борисович, Доспехова Наталья Анатольевна
Геометрические аспекты контактного взаимодействия балансов в корообдирочном барабанеСоколов Антон Павлович, Герасимов Юрий Юрьевич, Селивёрстов Александр Анатольевич
Методика оптимизации парка автомобилей на вывозке сортиментов на основе имитационного моделирования в среде ГИС
Всероссийская школа-семинар для молодых ученых России по теме «Проблемы и приложения электроразрядной обработки в индустрии наносистем и наноматериалов»
Белашев Борис Залманович, Ильина Вера Петровна, Терновой Анатоий Николаевич
Технологии с использованием диатомитов КарелииВеличко Андрей Александрович, Черемисин Александр Борисович, Стефанович Генрих Болеславович, Пергамент Александр Лионович, Путролайнен Вадим Вячеславович, Дутиков Дмитрий Андреевич, Кулдин Николай Александрович, Кундозерова Татьяна Валерьевна, Параничев Даниил Константинович
Разработка методов микро- и нанолитографии по оксидным пленкам переходных металловГолубев Максим Сергеевич, Дзлиева Елена Сослановна, Ермоленко Максим Анатольевич, Иванов Артем Юрьевич, Карасев Виктор Юрьевич, Эйхвальд Алексей Игоревич
Управление плазменными структурами и отдельными частицами в газовых разрядахМосквин Павел Владимирович
Исследование потерь импульсного электронного пучка при транспортировке в газе низкого давления
Научная информация
Артемьев Александр Владимирович
К 50-летию трудовой деятельности В. Б. Зимина
Юбилеи