Величко Андрей Александрович, Черемисин Александр Борисович, Стефанович Генрих Болеславович, Пергамент Александр Лионович, Путролайнен Вадим Вячеславович, Дутиков Дмитрий Андреевич, Кулдин Николай Александрович, Кундозерова Татьяна Валерьевна, Параничев Даниил Константинович

Разработка методов микро- и нанолитографии по оксидным пленкам переходных металлов

В статье приведен обзор неорганических резистов, применяющихся для микро- и нанолитографии.

Сборник

Все статьи сборника:


Только зарегистрированные пользователи могут оставлять комментарии. Пожалуйста, зарегистрируйтесь.

Описание документа
Разработка методов микро- и нанолитографии по оксидным пленкам переходных металлов / А. А. Величко [и др.] // Учен. зап. Петрозавод. гос. ун-та. Сер.: Общественные и гуманитарные науки. — 2009. — № 11 (105). — С. 82-94. — URL: http://elibrary.petrsu.ru/books/25621 (дата обращения: 17.07.2024)

Издатель: Издательство ПетрГУ

Copyright: Петрозаводский государственный университет

Место издания: Петрозаводск

Год издания: 2009