Электроразрядное оборудование и технологии создания наноструктурных слоев и покрытий
Представлены вакуумные ионно-плазменные и электронно-лучевые установки для модификации поверхности материалов и изделий, разработанные в Институте сильноточной электроники Сибирского отделения РАН.
Только зарегистрированные пользователи могут оставлять отзывы. Вход / Регистрация
Описание документа
Электроразрядное оборудование и технологии создания наноструктурных слоев и покрытий / С. В. Григорьев [ и др.] // Учен. зап. Петрозавод. гос. ун-та. Сер.: Естественные и технические науки. - 2010. - N 2 (107). - С. 86-95.
Издатель: Издательство ПетрГУ
Copyright: Петрозаводский государственный университет
Продолжая использовать данный сайт, Вы даете согласие на обработку файлов
Cookies и других пользовательских данных, в соответствии с Политикой конфиденциальности