Григорьев Сергей Владимирович, Девятков Владимир Николаевич, Денисов Владимир Викторович, Коваль Николай Николааевич, Лопатин Илья Викторович, Шугуров Владимир Викторович, Яковлев Владислав Викторович

Электроразрядное оборудование и технологии создания наноструктурных слоев и покрытий

Представлены вакуумные ионно-плазменные и электронно-лучевые установки для модификации поверхности материалов и изделий, разработанные в Институте сильноточной электроники Сибирского отделения РАН.

Сборник

Все статьи сборника:


Только зарегистрированные пользователи могут оставлять комментарии. Пожалуйста, зарегистрируйтесь.

Описание документа
Электроразрядное оборудование и технологии создания наноструктурных слоев и покрытий / С. В. Григорьев [ и др.] // Учен. зап. Петрозавод. гос. ун-та. Сер.: Естественные и технические науки. — 2010. — N 2 (107). — С. 86-95. — URL: http://elibrary.petrsu.ru/books/21330 (дата обращения: 30.05.2024)

Издатель: Издательство ПетрГУ

Copyright: Петрозаводский государственный университет

Место издания: Петрозаводск

Год издания: 2010