Раздел журнала/сборника: Всероссийская школа-семинар для молодых ученых России по теме «Проблемы и приложения электроразрядной обработки в индустрии наносистем и наноматериалов» (Физико-математические науки)

Белашев Борис Залманович

Нанометрология

В статье по литературным источникам и материалам Интернета описаны современные подходы к нанометрологии. Рассмотрены эталонная система на базе атомно-силового микроскопа и лазерных интерферометрических измерителей наноперемещений, метод терагерцовой спектроскопии диагностики нанообъектов, новые оптические микроскопы, регистрирующие интегральный отклик объекта.

Сборник

Все статьи сборника:


Только зарегистрированные пользователи могут оставлять комментарии. Пожалуйста, зарегистрируйтесь.

Описание документа
Белашев Б. З. Нанометрология / Б. З. Белашев // Учен. зап. Петрозавод. гос. ун-та. Сер.: Естественные и технические науки. — 2010. — № 6 (111). — С. 86-89. — URL: http://elibrary.petrsu.ru/books/21409 (дата обращения: 18.12.2024)

Издатель: Издательство ПетрГУ

Copyright: Петрозаводский государственный университет

Место издания: Петрозаводск

Год издания: 2010